超级纯水设备有哪些

时间:2025-07-10

  超级纯水设备根据应用场景及技术路线可分为以下核心类型,结合工艺特点与行业适配性综合分析如下:

  一、按核心工艺分类

  1.‌离子交换法‌

  ‌结构‌:石英砂过滤→活性炭吸附→混床树脂(阴阳离子交换)→终端超滤

  ‌水质‌:电阻率≥15MΩ·cm,适用于常规试剂配制、玻璃器皿清洗

  ‌局限‌:树脂需酸碱再生,运行成本高且产生废液污染‌

  2.反渗透+混床(传统工艺)‌

  ‌流程‌:预处理→一级/二级RO→混床抛光→紫外杀菌

  ‌性能‌:电阻率≥18MΩ·cm,TOC<50ppb,满足HPLC、细胞培养需求

  ‌典型机型‌:凝创UltraPure系统(整合终端超滤)

  3.‌RO+EDI集成技术(环保型)‌

  ‌创新点‌:电去离子(EDI)替代化学再生,连续制水无废水

  ‌水质‌:电阻率稳定≥18.2MΩ·cm,TOC<10ppb

  ‌能效‌:比蒸馏法节能80%,半导体行业主流选择

  4.‌全集成超纯化系统‌

  ‌增强配置‌:RO+EDI+紫外氧化(降TOC)+超滤(除热原)

  ‌超精密场景‌:电阻率>18.25MΩ·cm,TOC<5ppb,微生物<0.1cfu/ml

  ‌适配领域‌:芯片光刻、注射液生产、基因测序

  二、按应用场景分类

  ‌1.电子半导体制造‌

  ‌要求‌:电阻率≥18.2MΩ·cm(25℃),TOC<5ppb,颗粒物<1个/ml

  ‌设备特性‌:316L不锈钢管路,带氮气密封水箱防止CO₂溶解‌

  代表方案‌:深圳纯水一号光伏级超纯水系统(200吨/小时产能)‌

  2.生物医药与实验室‌

  ‌关键指标‌:内毒素<0.03EU/ml,RNase/DNase未检出

  ‌特殊模块‌:热消毒循环(80℃)、臭氧灭菌系统

  ‌机型推荐‌:

  基础研发:凝创RL-H系列(50L/h,RO技术)‌

  无菌生产:R200全链路无菌防护机型(带UVC过流灭菌)‌

  3.高端分析仪器配套‌

  ‌匹配设备‌:HPLC、ICP-MS、PCR工作站

  ‌水质保障‌:终端0.2μm除菌过滤,电阻率在线监测±0.1MΩ精度‌

  三、主流设备技术参数对比

  ‌

类型产水量(L/H)电阻率(MΩ·cm)TOC(ppb)核心成本构成
基础混床型10-30≥15<50树脂更换¥1,500/L/年‌
RO+EDI一体化50-100≥18.2<10EDI模块¥20,000+/个‌
全功能超纯系统20-80≥18.25<5紫外+超滤模块¥35,000‌

  四、选型避坑指南

  ‌1.材料陷阱‌

  拒绝PP塑料管路(耐压不足),强制要求316L不锈钢(耐压≥0.8MPa)‌

  保温层厚度≥25mm(高寒地区需45mm聚氨酯),防止冬季效率衰减

  2.协议兼容性‌

  必须支持MODBUS/4-20mA输出,否则无法接入工厂DCS系统

  3.隐蔽成本‌

  预处理失效将导致RO膜堵塞(原水硬度>200mg/L时需配软水器)‌13EDI进水要求电导率≤10μS/cm,否则模块击穿(需二级RO保障)‌