超纯水制取设备

　　超纯水制取设备是一种通过多级过滤、膜分离及深度除盐技术，去除水中离子、有机物、微生物等杂质，生产电阻率可达18MΩ·cm以上超纯水的专用装置，广泛应用于电子、医药、化工、电力等对水质要求极高的领域。其核心技术经历了从传统离子交换到现代膜法工艺的演进，目前主流技术组合为“预处理+反渗透(RO)+电去离子(EDI)”，可实现连续、高效、低污染的超纯水制备。

　　超纯水制取设备的工作原理与工艺流程

　　核心技术原理

　　反渗透(RO)技术：利用半透膜的选择性透过特性，在压力驱动下去除水中95%-98%的溶解性盐类、胶体及微生物，是预处理后的关键脱盐步骤。

　　电去离子(EDI)技术：结合离子交换树脂与电渗析原理，在直流电场作用下，水中离子通过离子交换膜迁移至浓水室，同时水电解产生的H⁺和OH⁻持续再生树脂，实现无需化学药剂的连续深度除盐，使水质达到超纯水平。

　　典型工艺流程

　　预处理阶段：通过砂滤、活性炭过滤去除原水中的颗粒物、余氯及部分有机物，保护后续膜组件。

　　RO系统：去除大部分溶解性杂质，产水进入EDI系统。

　　EDI系统：深度去除剩余离子，产水电阻率可达18.2MΩ·cm，部分设备配套紫外线消毒或超滤单元以控制微生物和颗粒物。

　　主要应用领域

　　电子工业：半导体芯片、集成电路制造中的清洗及蚀刻工艺用水。

　　医药领域：注射用水、制药工艺用水的制备。

　　电力行业：锅炉补给水处理，防止结垢和腐蚀。

　　实验室研究：高精度分析实验的水质保障。

　　设备选型与性能指标

　　关键性能参数

　　产水水质：电阻率10-18.2MΩ·cm(25℃)，TOC<10ppb，颗粒物(>0.2μm)<1个/mL。

　　处理能力：根据应用场景分为实验室小型设备(L/h级)和工业大型系统(m³/h级)。

　　选型建议

　　行业适配：电子行业优先选择“RO+EDI+抛光混床”组合，医药行业需附加巴氏消毒或TOC降解单元。

　　节能环保：优先选择水回收率>75%、能耗<0.5kW·h/m³的高效机型。